VIU系列
VIU系列 是一款面向大负载的独立型隔振器，可方便集成到设备中，降低地面振动和运动负载对设备精度的影响。- 产品介绍
- 产品特性
- 技术参数
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- VIU系列
是一款面向大负载的独立型隔振器，可方便集成到设备中，降低地面振动和运动负载对设备精度的影响。
应用范围
超精密运动系统、精密测量仪、三坐标测量系统、测量设备组
半导体制造检测设备、裂变产物探测装备检查设备、同位检测仪器
显微设备、激光设备、LED（切割）加工设备等
- 高性能空气弹簧:固有频率可达2.5Hz，最高隔振效率达90%以上。
- 自动调节水平:高精度水平阀，自动调节水平，使台面轻松恢复水平状态。
- 宽泛的负载能力:承载能力从数百公斤到数吨。
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