三轴龙门高精密线轨运动台
满足高速高精度产品的定制需求，适用于激光加工，CCD成像，晶圆检测等。- 产品介绍
- 产品特性
- 技术参数
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- 满足高速高精度产品的定制需求，适用于激光加工，CCD成像，晶圆检测等。
- X、Y、Z工作台，Z轴布置于平台大理石横梁；
- 龙门结构，横梁可随Y轴运动；
- XY微米级重复定位精度；
- 最大速度500mm/s，最大加速度1.0g；
- 单轴直线度可达±1.5μm，运动平面度可达±2.0μm。
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