三轴线轨高精密运动台
三轴精密运动台，满足高速定位抖动、高加速、高精度的产品定制需求，适用于生物基因测序、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端行业。- 产品介绍
- 产品特性
- 技术参数
- 图片参考
- 三轴精密运动台，满足高速定位抖动、高加速、高精度的产品定制需求，适用于生物基因测序、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端行业。
- X、Y、Z工作台，直线电机驱动；
- 亚微米级重复定位精度
- 最大速度1000mm/s，最大加速度2g
- 超短建立时间，1.5mm步进，建立时间5ms，收敛到50nm
- X、Y两轴正交性可达±3.0arcsec
- 高精度导轨导向，光栅尺编码反馈
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