双Z轴6轴线轨高精密运动台
- 产品介绍
- 产品特性
- 技术参数
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- 六轴精密运动台，满足高速度、高加速度、高精度的产品定制需求。适用于玻璃薄片检测、玻璃切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端制造业。
- X、Y、θ1、θ2、Z1、Z2，直驱电机驱动，保证高速度高加速度和亚微米级精度。XY直线电机驱动，θ1、θ2直驱DD马达驱动，Z1、Z2直线电机驱动配备平衡气缸，断电保护。
- 最大速度1000mm/s，加速度1g；
- 旋转轴重复定位精度1arcsec；
- XY正交2arcsec；
- 高精度光栅尺反馈。
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