北京华卓精科科技股份有限公司
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UP-HBS-01-300设备是用于硅基功率器件退火加工的专业工艺设备,主要由工艺加工系统和晶圆传输系统组成。
混合键合设备
IGBT激光退火设备
EFEM / SORTER
UP-SOTO1-300 EFEM/SORTER
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