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高端设备类产品

UP-HBS-01-300设备是用于硅基功率器件退火加工的专业工艺设备,主要由工艺加工系统和晶圆传输系统组成。
  • UP-SOTO1-300 EFEM/SORTER

    UP-SOTO1-300 EFEM/SORTER