5.5代OLED高精密运动台
大尺面激光直接成像曝光设备，激光直写光刻机所用的大尺面工件台，应用于5.5代OLED、10.5代TFT面板曝光与检测、PCB曝光、LDI光刻、激光加工等领域。- 产品介绍
- 产品特性
- 技术参数
- 图片参考
- 大尺面激光直接成像曝光设备，激光直写光刻机所用的大尺面工件台，应用于5.5代OLED、10.5代TFT面板曝光与检测、PCB曝光、LDI光刻、激光加工等领域。
- 设备满足X+Y+Z三个方向的位移运动，可实现X、Y高精度的步进和扫描运动，Z向高精度的微动聚焦；
- X、Y采用空气轴承、花岗岩大理石基座，低摩擦，保证了运动平面度；
- 无铁芯直线电机驱动，降低推力波动，提高运动稳定性；
- 高分辨率光栅系统作位置反馈。
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