五轴超精密气浮运动台
五轴超精密气浮运动台，满足高速、高加速、高精度的产品定制需求，适用于超镜面加工、OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端制造行业。- 产品介绍
- 产品特性
- 技术参数
- 图片参考
五轴超精密气浮运动台，满足高速、高加速、高精度的产品定制需求，适用于超镜面加工、OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端制造行业。
- X、Y、Z1、Z2、θ工作台，直驱电机驱动可实现360°角度旋转，两z轴布置于平台大理石横梁，直线电机驱动垂向运动；配套平衡气缸支撑，防止断电掉落。
- 亚微米级重复定位精度
- 最大速度1000mm/s，最大加速度4g
- 单轴直线度可达±0.3μm，运动平面度可达±0.3μm
- X、Y两轴正交性可达±1.0arcsec
- 直线电机驱动，光栅尺编码反馈
微信二维码