三轴线轨高精密运动台
满足高速高精度产品的定制需求，适用于玻璃薄片检测、三维成像等。- 产品介绍
- 产品特性
- 技术参数
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- 满足高速高精度产品的定制需求，适用于玻璃薄片检测、三维成像等。
- X、Y、Z工作台，Z轴布置于平台大理石横梁；可实现微米级的重复定位和定位精度；
- XY使用交叉滚珠导轨，低摩擦，高刚性，可实现亚微米级重复定位精度；
- 最大速度200mm/s，最大加速度0.5g；
- 单轴直线度可达±2μm，运动平面度可达±3μm；
- 直线电机驱动，光栅尺编码反馈。
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