UP-SOTO1-300 EFEM/SORTER
专注定制应用于集成电路领域、先进封装领域及功率器件领域晶圆传输用EFEM、Wafer Stocker、Sorter以及FOUP传输用FOUP Stocker。可以根据客户需求定制超薄片晶圆传输EFEM/Sorter，可用于传输300mm 100μm及以上Taiko 晶圆。- 产品介绍
- 产品特性
- 技术参数
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- 专注定制应用于集成电路领域、先进封装领域及功率器件领域晶圆传输用EFEM、Wafer Stocker、Sorter以及FOUP传输用FOUP Stocker。可以根据客户需求定制超薄片晶圆传输EFEM/Sorter，可用于传输300mm 100μm及以上Taiko 晶圆。
- 高度定制化，可根据客户需求定制非标产品；
- 可兼容8寸与12寸晶圆；
- 微环境满足ISO Class1 洁净等级；
- 机台满足SEMI S2及SEMI F47标准；
- 可根据客户需求配置Vacuum、Passive、Gripper、Bernoulli等机械手EE;
- 结构紧凑，占地面积小；
- 模块化设计、维护成本低；
- 可根据客户需求定制开发FA。
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