国内首台纳米级超精密气浮运动台
纳米级超精密气浮运动台，包含宏动模块与微动模块。微动模块采用自主研发的气浮轴承及音圈电机驱动，可实现平面X、Y同步运动。采用激光干涉仪作为位置反馈，实现纳米级定位精度与重复定位精度。- 产品介绍
- 产品特性
- 技术参数
- 图片参考
纳米级超精密气浮运动台，包含宏动模块与微动模块。微动模块采用自主研发的气浮轴承及音圈电机驱动，可实现平面X、Y同步运动。采用激光干涉仪作为位置反馈，实现纳米级定位精度与重复定位精度。
满足纳米级精度尺度的产品定制需求，适用于OLED无掩模激光光刻、激光直写光刻、光刻机等高端制造行业。
- 包含宏动模块与微动模块，满足XY两个自由度的运动
- 采用激光干涉仪作为位置反馈，可实现纳米级定位精度与重复定位精度
- 微动模块采用音圈电机驱动，无推力波动
- 微动模块采用自主研发的气浮轴承，气浮面为底座大理石表面，保证运动平面度
- 最大速度500mm/s，最大加速度2g
微信二维码