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MSLC高直线度/高精度系列

高直线度/高精度系列 主要面向长行程、大尺寸工件加工,并且需要高精度的场合。
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          主要面向长行程、大尺寸工件加工,并且需要高精度的场合。


    • 高稳定性花岗石基台
    • 重复定位精度:优于0.5微米
    • 直线度/平面度:优于5微米
    • 承载重量:可达100kg