北京华卓精科科技股份有限公司
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产品中心
Product Center
MSAA气浮高直线度/高精度系列
主要面向半导体制造、电子制造设备等高精度定位、检测场合。
产品介绍
产品特性
技术参数
图片参考
主要面向半导体制造、电子制造设备等高精度定位、检测场合。
分辨率:可达1nm
直线度/平面度:优于1μm
高稳定性花岗石基台
重复定位精度:优于0.5μm
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