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MSAA气浮高直线度/高精度系列

主要面向半导体制造、电子制造设备等高精度定位、检测场合。
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          主要面向半导体制造、电子制造设备等高精度定位、检测场合。

    • 分辨率:可达1nm
    • 直线度/平面度:优于1μm
    • 高稳定性花岗石基台
    • 重复定位精度:优于0.5μm